使用真空度测试仪应该先了解的知识有哪些？
基本工作原理
磁控放电法测试真空度的基本原理如下：将真空泡两触头拉开一定的开距,并置于通有大电流的螺线管内,在两触头间施加高压脉冲,从而在真空泡内产生高压电场和轴向脉冲磁场。这样,在脉冲强磁场和强电场的作用下,真空泡中的电子作螺旋运动,并与残余气体分子发生碰撞产生电离,生成的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。
研制的测试仪可用于测量泄漏电流、全电流和离子电流3个电流值。
(1)泄漏电流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会在两触头间、触头和屏蔽罩间产生强电场。根据场致发射理论,阴极和屏蔽罩表面会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能正确反应真空泡的真空度。
(2)全电流。为了使泄漏电流的电子能够与残余气体分子发生碰撞,目前常用的方法是在轴向上加一较强的磁场,使得场致发射的电子在电场和磁场的共同作用下发生螺旋运动,这加大了电子运动的行程及与残余气体分子发生碰撞的概率。当电子与残余气体分子发生碰撞后会产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的电流值为全电流值。
(3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余气体被碰撞后产生电离的离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度,还得从全电流中减掉泄漏电流值,得到的才是真正反映真空泡真空度的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内部真空度也呈线性增加。通过测定两个间隔时间比较恰当时的真空度,就可确定其变化率,从而确定使用过任意时间后真空泡真空度的大小。
1、将被测的真空管两端断电。被测的真空管不必从开关柜上拆卸，但必须使真空管处于正常的断开状态，并打开真空开关进出线的刀闸；若真空开关还没有装上，也需要采取措施使真空开关动静触头处于正常开距状态，并将其置于绝缘良好的支撑架上，同时要注意磁控线圈的安装位置，应安装在灭弧室中间略偏动触头的位置。
2、将被测的真空管与仪器接线。具体的操作为：先将真空度测试仪接地端接到大地上，再将磁控线圈通过磁场电流线连接仪器的磁场电压正、负端，将高压输出端用高压电缆连接到真空管的静触头上，将离子电流输入端通过离子电流线（屏蔽线）接至真空管的动触头上。3、测量结束后，关闭仪器电源，并等待5秒后方可拆线。拆线时应先拆除与仪器相连的测试线，再拆除与真空管、磁控线圈的连线。
操作注意事项：
1．仪器外壳应可靠接地；
2．为了提高测量准确度，测试前应将真空开关外表面擦试干净；
3．请正确选择真空管的管型；
4．测试过程中，高压输出端会输出约20KV高压,请保持其与人体及低压线端的绝缘距离(建议与人体保持 0.5米以上距离),磁场电压输出端输出约1600V高压,请注意**!
5．仪器进行试验时，接线应先连接磁控线圈、真空管的连线，然后再与仪器相连。测试完成后拆线应先拆除与仪器相连的测试线，然后再拆除与磁控线圈、真空管的连线；如在使用时忘记连接磁控线圈而直接按测量键时,应立即关闭电源,重新接好磁控线圈,请注意此时磁场电压输出端会有较高电压,请接线时勿接触导体部分,以免被电容上的残余电压击伤.
6．测量完毕后磁场输出端仍可能有 40V左右的残余电压，请注意**！
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