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对来扬电气真空度测试仪采用磁控放电法的深度剖析

对来扬电气真空度测试仪采用磁控放电法的深度剖析
真空度测试仪采用磁控放电法进行测量。将真空开关灭弧室的两触头拉开一定的距离,施加电场脉冲高压,将灭弧室置于螺线管圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧,向线圈通以大电流,从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场。这样,在脉冲强磁场和强电场的作用下,灭弧室中的带电离子作螺旋运动,并与残余气体分子发生碰撞电离,所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管型号(管型),由于其结构不同,在同等触头开距、同等真空度、同等电场与磁场的条件下,离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种管型的真空度与离子电流间的对应关系曲线。当测知离子电流磁控线圈可以从侧面包围灭弧室,这样就不必拆卸灭弧室。而采用单片微机进行同步控制与数据采集处理,提高了灭弧室真空度的现场测试灵敏度。真空度测试仪将灭弧室的两触头拉开一定的开距,施加脉冲高压,将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧,向线圈通以大电流,从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场,这样在脉冲磁场的作用下,灭弧室中的电子做螺旋运动,并与残余气体分子发生碰撞电离,所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。
漏电电流的处理,对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这此漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E- 4Pa 数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
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